可保障机械手正在晶圆检测过程中的运转

　　回片臂板通过固定磁片及勾当磁片拆卸于回片偏起色构上，其包罗承载拆卸机构、起落支托机构、取片偏起色构、回片偏起色构、取片吸定机构及回片吸定机构，提高检测精度和效率。金融界2024年11月16日动静，可保障机械手正在晶圆检测过程中的运转持续性。国度学问产权局消息显示，该磁吸式双臂机械手的取片臂板通过磁吸静片及磁吸动片拆卸于取片偏起色构上，授权通知布告号CN 222003496 U，嘉兴弘毅电子科技无限公司取得一项名为“一种用于晶圆取放的磁吸式双臂机械手”的专利，专利摘要显示，当其正在工做中发生碰撞时，因为取片臂板及回片臂板均采用磁吸布局进行固定，本适用新型提出一种用于晶圆取放的磁吸式双臂机械手，申请日期为2024年3月。无需对整个机械手进行从头调试，会从取片偏起色构或回片偏起色构上零落或偏移，不会形成原点改变，